一、擴散硅壓力傳感器
擴散硅壓力傳感器是以單晶硅為基礎，采用現(xiàn)階段離子注入工藝和微機械加工工藝，制成了具有惠斯頓電橋和精密力學結構的硅敏感元件。被測壓力通過壓力接口作用在硅敏感元件上，實現(xiàn)了所加壓力與輸出信號的線性轉換，經(jīng)激光修調的厚膜電阻網(wǎng)絡補償了敏感元件的溫度性能。
擴散硅壓力傳感器采用帶不銹鋼隔離膜的擴散硅壓阻式壓力傳感器作為信號測量元件，信號處理電路位于不銹鋼殼體內，傳感器信號經(jīng)過專業(yè)信號調整電路轉換成標準4-20mA電流或RS485信號輸出。擴散硅壓力傳感器廣泛應用于石油、化工、冶金、電力等工業(yè)過程控制測量和控制。
擴散硅壓力傳感器不能與腐蝕性或過熱的介質接觸。
二、應變式壓力傳感器
應變式壓力傳感器是一種傳感裝置，是利用彈性敏感元件和應變計將被測壓力轉換為相應電阻值變化的壓力傳感器，按彈性敏感元件結構的不同,應變式壓力傳感器大致可分為應變管式、膜片式、應變梁式和組合式4種。
應變式壓力傳感器壓力傳感器中應用比較多的一種傳感器，它一般用于測量較大的壓力。應變式壓力傳感器主要用來測量流動介質動態(tài)或靜態(tài)壓力，如廣泛應用于稱重、測量管道內部壓力、內燃機燃氣的壓力、壓差和噴射壓力、發(fā)動機和導彈試驗中的脈動壓力，以及各種領域中的流體壓力等。
三、濺射薄膜壓力傳感器
濺射薄膜壓力傳感器是近二十余年來薄膜技術與半導體技術綜合而發(fā)展起來的高穩(wěn)定品種。它的壓力敏感芯體是利用離子束濺射成膜設備在高強度耐蝕不銹鋼沉淀絕緣及敏感薄膜，取代傳統(tǒng)粘貼式有機化合基底及金屬敏感柵，然后濺射保護膜保護敏感膜而形成的。其次薄膜壓力傳感器是通過激光焊接或等離子焊接的辦法將敏感芯體和不銹鋼壓力接嘴焊接成一個整體，因此濺射薄膜壓力傳感器具有以下特點：
1、濺射膜壓力傳感器溫度特性好，薄膜壓力傳感器由于采用半導體工藝技術和激光調阻技術，利用電橋自補償特性，在-200℃∽400℃全溫區(qū)范圍內溫漂小于0.02%/℃。
2、濺射膜壓力傳感器長期穩(wěn)定性好、工作溫度寬、精度高、重復性好， 由于絕緣膜和基底、敏感膜與絕緣膜之間是直接在高真空環(huán)境內淀積在一起，各薄膜層間是原子力的結合，消除了粘貼膠帶來的蠕變影響，同時敏感膜在高真空環(huán)境內得到二氧化硅保護膜保護，故特點是精度高、重復性好、長期穩(wěn)定性好，工作溫度寬(通過不同的設計可以達到耐溫-200℃∽400℃的壓力敏感芯體)�？砷L期在高溫高壓下工作。
3、濺射膜壓力傳感器測量真實、頻響高 ，由于壓力介質直接作用在耐蝕不銹鋼敏感芯體上，無隔離膜和充灌液，因此測量真實、頻響高。通過設計頻響可達20KHZ以上。 濺射薄膜壓力傳感器非常適合大量稱壓力的測量，但是，在壓力量程400KPA以下，一般不適合使用濺射薄膜壓力傳感器。
4、濺射膜壓力傳感器耐高強度震動和沖擊、不泄漏、耐腐蝕，由于薄膜壓力傳感器是通過激光焊接或等離子焊接的辦法將敏感芯體和不銹鋼壓力接嘴焊接成一個整體，因此濺射薄膜壓力傳感器沒有任何“O”型橡膠密封圈，也沒有充硅油，壓力介質直接作用在耐蝕不銹鋼敏感芯體上，產(chǎn)品經(jīng)得起高強度的震動和沖擊，絕無泄漏的危險。
四、粘貼應變式（應變片）壓力傳感器
濺粘貼應變式（應變片）壓力傳感器誕生已半個世紀，是最早生產(chǎn)的壓力傳感器類型。其原理缺陷是采用有機高分子基底與粘膠，不耐高溫且長期穩(wěn)定性差，蠕變大，一般用于低價位，要求不高的測量系統(tǒng)。半導體擴散硅壓阻式壓力傳感器是采用半導體工藝在硅片上擴散制成敏感元件，經(jīng)引線、充硅油封裝成壓力敏感芯體。將壓力敏感芯體通過“O”型橡膠密封圈封裝到壓力接嘴內形成壓力傳感器。它的工作原理是：當壓力作用到敏感芯體時引起擴散電阻的電阻率變化從而引起敏感電阻的變化，實現(xiàn)壓力變化轉換成電信號的變化。產(chǎn)品優(yōu)點是適于大批量生產(chǎn)、成本低、輸出大、適于微壓、低壓品種。但缺點也很突出，首先由于它的敏感電阻是由半導體硅擴散而成，因此它的電阻溫度系數(shù)極差，當溫度超過85℃溫度補償非常困難，低于-45℃時擴散硅的電阻率變化及大且無規(guī)律，無法滿足環(huán)境耐溫要求。其次由于半導體硅的易脆性以及采用隔離膜充硅油封裝的原因，產(chǎn)品不能抗高強度的震動和沖擊，頻率響應也較低。
五、陶瓷壓力傳感器
抗腐蝕的陶瓷壓力傳感器沒有液體的傳遞，壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面，使膜片產(chǎn)生微小的形變，厚膜電阻印刷在陶瓷膜片的背面，連接成一個惠斯通電橋（閉橋），由于壓敏電阻的壓阻效應，使電橋產(chǎn)生一個與壓力成正比的高度線性、與激勵電壓也成正比的電壓信號，標準的信號根據(jù)壓力量程的不同標定為2.0 / 3.0 / 3.3 mV/V等，可以和應變式傳感器相兼容。
陶瓷壓力傳感器主要由瓷環(huán)、陶瓷膜片和陶瓷蓋板三部分組成。陶瓷膜片作為感力彈性體，采用95%的AL2O3瓷精加工而成，要求平整、均勻、質密，其厚度與有效半徑視設計量程而定。瓷環(huán)采用熱壓鑄工藝高溫燒制成型。陶瓷膜片與瓷環(huán)之間采用高溫玻璃漿料，通過厚膜印刷、熱燒成技術燒制在一起，形成周邊固支的感力杯狀彈性體，即在陶瓷的周邊固支部分應形成無蠕變的剛性結構。在陶瓷膜片上表面，即瓷杯底部，用厚膜工藝技術做成傳感器的電路。陶瓷蓋板下部的圓形凹槽使蓋板與膜片之間形成一定間隙，通過限位可防止膜片過載時因過度彎曲而破裂，形成對傳感器的抗過載保護。
陶瓷是一種公認的高彈性、抗腐蝕、抗磨損、抗沖擊和振動的材料。陶瓷的熱穩(wěn)定特性及它的厚膜電阻可以使它的工作溫度范圍高達-40～135℃，而且具有測量的高精度、高穩(wěn)定性。電氣絕緣程度>2kV，輸出信號強，長期穩(wěn)定性好。高特性，低價格的陶瓷傳感器將是壓力傳感器的發(fā)展方向，在歐美國家有全面替代其它類型傳感器的趨勢，在中國也越來越多的用戶使用陶瓷傳感器替代擴散硅壓力傳感器。
過程控制、環(huán)境控制、液壓和氣動設備、伺服閥門和傳動、化學制品和化學工業(yè)及醫(yī)用儀表等眾多領域。
熱噴涂耐高溫陶瓷涂層最能體現(xiàn)熱噴涂技術特點，應用效果最突出，是影響最大的一個應用領域。
六、 單晶硅壓力/差壓變送器
單晶硅壓力/差壓變送（MonocrystallineSiliconPressureTransmitter）用于測量液體、氣體或蒸汽的液位、密度、壓力，然后將其轉變成4-20mAHART電流信號輸出，也可與HART375或BST Modem相互通信，通過他們進行參數(shù)設定、過程控制。與傳統(tǒng)壓力變送器的區(qū)別在于它使用的是納米單晶硅作為傳感器材料。
傳感器模塊采用全焊接技術，內部擁有一個整體化的過載膜片，一個壓力傳感器和一個溫度傳感器。溫度傳感器作為溫度補償?shù)膮⒖贾怠毫鞲衅鞯恼龎簜扰c傳感器膜盒的高壓腔相連，傳感器的負壓側與傳感器膜盒的低壓腔相連，壓力通過隔離膜片和填充液，傳遞給傳感器內的硅芯片，使壓力傳感器的芯片的阻值發(fā)生變化，從而導致檢測系統(tǒng)輸出電壓變化。該輸出電壓與壓力變化成正比，再由適配單元和放大器轉化成一標準化信號輸出。
壓阻式壓力傳感器利用單晶硅的壓阻效應而構成。采用單晶硅片為彈性元件，在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝，在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻，并將電阻接成橋路，單晶硅片置于傳感器腔內。當壓力發(fā)生變化時，單晶硅產(chǎn)生應變，使直接擴散在上面的應變電阻產(chǎn)生與被測壓力成比例的變化，再由橋式電路獲得相應的電壓輸出信號。
七、電容式壓力傳感器（capacitive type pressure transducer）
電容式壓力傳感器是一種利用電容敏感元件將被測壓力轉換成與之成一定關系的電量輸出的壓力傳感器。特點是，輸入能量低，高動態(tài)響應，自然效應小，環(huán)境適應性好。
它一般采用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的一個電極，當薄膜感受壓力而變形時，薄膜與固定電極之間形成的電容量發(fā)生變化，通過測量電路即可輸出與電壓成一定關系的電信號。電容式壓力傳感器屬于極距變化型電容式傳感器，可分為單電容式壓力傳感器和差動電容式壓力傳感器。
單電容式壓力傳感器它由圓形薄膜與固定電極構成。薄膜在壓力的作用下變形，從而改變電容器的容量，其靈敏度大致與薄膜的面積和壓力成正比而與薄膜的張力和薄膜到固定電極的距離成反比。另一種型式的固定電極取凹形球面狀，膜片為周邊固定的張緊平面，膜片可用塑料鍍金屬層的方法制成。這種型式適于測量低壓，并有較高過載能力。還可以采用帶活塞動極膜片制成測量高壓的單電容式壓力傳感器。這種型式可減小膜片的直接受壓面積，以便采用較薄的膜片提高靈敏度。它還與各種補償和保護部以及放大電路整體封裝在一起，以便提高抗干擾能力。這種傳感器適于測量動態(tài)高壓和對飛行器進行遙測。單電容式壓力傳感器還有傳聲器式（即話筒式）和聽診器式等型式。
差動電容式壓力傳感器它的受壓膜片電極位于兩個固定電極之間,構成兩個電容器。在壓力的作用下一個電容器的容量增大而另一個則相應減小，測量結果由差動式電路輸出。它的固定電極是在凹曲的玻璃表面上鍍金屬層而制成。過載時膜片受到凹面的保護而不致破裂。差動電容式壓力傳感器比單電容式的靈敏度高、線性度好，但加工較困難（特別是難以保證對稱性），而且不能實現(xiàn)對被測氣體或液體的隔離，因此不宜于工作在有腐蝕性或雜質的流體中 |
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